日本三豐mitutoyo218系列超級輪廓測量儀
CV-3000CNC,CV-40

X1 軸

測量范圍: 200mm

分辨率: 0.05μm

檢測方法: 反射型線性編碼器

0 - 60mm/s （操縱桿）

測量速度: 0.02 - 2mm/s

測量方向: 向前／向后

直線度: 2μm / 200mm

* 以X1 軸為水平方向上

指示精度 (20oC 時): ±(1+4L/200)μm (CV-3000CNC),

±(0.8+4L/200)μm (CV-4000CNC)

* L = 驅動長度 (mm)

a 軸

傾斜角度: -45o (CCW) - +10o (CW)

分辨率: 0.000225o

傾斜范圍: 1rmp

Z2 軸 (立柱)

垂直移動: 300mm 或 500mm

分辨率: 0.05μm

檢測方法: 反射型線性編碼器

0 - 60mm/s (操縱桿)

基座尺寸 (W x H): 750 x 600mm

基座材料: 花崗巖

Z1 軸 (檢出器)

測量范圍: ±25mm

分辨率: 0.2μm (CV-3000CNC),

0.05μm (CV-4000CNC)

檢測方法: 線性編碼器 (CV-3000CNC)

激光全息光柵尺 (CV-4000CNC)

指示精度: ± (2+I4HI/100)μm (CV-3000CNC)

(20oC 時) ± (0.8+I0.5HI/25)μm (CV-4000CNC)

*H 為水平位置上的測量高度 (mm)

測針上／下運作 : 弧形運動

測針方向: 向上／向下

測力: 30mN

跟蹤角度: 向上: 70o, 向下: 70o (根據(jù)表面粗糙度，使用標準單切面測針)

測針針尖: 25μm, 硬質合金針尖

日本三豐mitutoyo218系列超級輪廓測量儀

CV-3000CNC,CV-40

Y 軸

測量范圍 : 200mm

分辨率 : 0.05μm

0~60mm/s (操縱桿控制模式)

直線度 : 2μm/200mm

指示精度 (20oC): ±(2+2L/100)μm

L = 任意兩點間的長度 (mm)

重量: 240kg, 250kg (高立柱型)

(Y 軸工作臺與振動隔離站的重量除外)

電源: 100 – 240VAC ±10%, 50/60Hz

能耗: 500W (僅限主機)